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  等離子體表面處理儀是一種干式工藝，（plasmacleaner）又稱等離子清洗機，等離子表面改性設備,電漿清潔機,等離子表面處理機,等離子體表面處理設備,等離子蝕刻機,等離子清洗器,等離子清洗儀，等離子體材料表面改性處理設備等離子表面處理省去了濕法化學處理工藝中所不可缺少的烘干，廢水處理等工藝；與其他干式工藝如放射線處理、電子束相比，等離子清洗機獨特之處在于它對材料的作用只發(fā)生在其表面幾十至數千埃厚度范圍內，既能改變材料表面性質又不改變本體性質。廣泛用于等離子清洗,刻蝕,等離子鍍,等離子涂覆,等離子灰化和表面改性。

等離子體表面處理儀（plasmacleaner）的優(yōu)點：   

1）環(huán)保技術：等離子體作用過程是氣-固相干式反應,不消耗水資源、無需添加化學藥劑,對環(huán)境無污染。    

2）廣適性：不分處理對象的基材類型,均可進行處理,如金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料都能很好地處理；    

3）溫度低：接近常溫，特別適于高分子材料，比電暈和火焰方法有較長保存時間和較高表面張力。 

4）功能強：僅涉及高分子材料淺表面（10-1000A），可在保持材料自身特性的同時，賦予其一種或多種新的功能； 

5）低成本：裝置簡單，易操作維修，可連續(xù)運行，往往幾瓶氣體就可以代替數千公斤清洗液,因此清洗成本會大大低于濕法清洗。

6）全過程可控工藝：所有參數可由電腦設置和數據記錄，進行質量控制。

7）處理物幾何形狀無限制：大或小，簡單或復雜，部件或紡織品，均可處理。

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